七逃人的新鮮小玩意

工商時報【李水蓮】

永光化學電子化學事業，歷經10多年的研發技術精進，不僅完整布局半導體製程G、I-Line光阻的產品版圖，成功地供應晶圓廠；近年推出晶圓級封裝與系統級封裝所需之化學增幅型厚膜光阻劑，已陸續推廣封裝廠以及穿戴式裝置供應鏈。

永光化學繼8月底參加觸控展外，接著9月7日至9日亦參加半導體材料展，以互動遊戲的方式讓參觀來賓體驗一下「看不見的地方，決定世界有多精彩」，進而了解永光化學開發光阻產品的重要性。並且完整的呈現上、中、下游供應鏈之相關光阻系列商品，精彩可期。

永光化學電化事業副總經理林昭文表示，永光應用於半導體等相對應的產品，包括：應用於晶圓製造之離子植入層與保護層：EPG系列光阻劑、EPI系列（含高解析）光阻劑。應用於IC封裝：ECA系列（化學增幅型）厚膜光阻劑、EPG系列傳統正型光阻劑、ENPI系列負型光阻劑。以及可應用於可撓性顯示器與film sensor製造：FSR系列光阻劑、DFR系列乾膜光阻劑。

永光化學電化營業處處長孫哲仁表示，為因應晶圓封裝產業推出的化學增幅型厚膜ECA 150系列光阻劑，主要針對金凸塊（Gold Bump）、銅柱（Cu Piller）等製程使用，在不同的製程條件下，即使高膜厚也可表現出優異的深寬比，在設計光阻時同步提升使用客戶的產能與速度，加強擁有不易脆裂、耐電鍍液、附著性佳等特性，以及更佳的深寬比解析能力（Aspect ratio＞10）。

今年半導體展中，I-Line高解析系列光阻劑為展覽主軸之一，其應用於晶圓特殊製程的離子植入層，不僅感光性高，製程寬容度大，且具有更高的解析度。

永光高解析度I-Line光阻劑可提升客戶的產能與解決昂貴曝光機的製程瓶頸，搭配永光自主研發團隊與高品質的生產管理系統，滿足客戶使用上的特殊需求，並獲得客戶的肯定與信賴。